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          工業(yè)磷酸廠家?guī)懔私怆娮蛹壛姿釞z測小知識

          信息來源:www.meihuaji.com | 發(fā)布時間:2020年09月02日

          工業(yè)磷酸廠家帶你了解電子級磷酸檢測小知識,高隆磷化工專業(yè)生產(chǎn)五氧化二磷多聚磷酸等產(chǎn)品,電子級磷酸屬于電子化學(xué)品檢測種類之一。在電子工業(yè)中,尤其是超大規(guī)模集成電路、大屏幕液晶顯示屏等微電子工業(yè)領(lǐng)域,電子用磷酸可以用于清洗和蝕刻等工藝的加工。可以說說磷酸的純度、質(zhì)量、指標(biāo)等都直接關(guān)系到電子生產(chǎn)企業(yè)的產(chǎn)品成品率、電性能、可靠性,或者是屏幕最后的質(zhì)量表現(xiàn)。

          一、電子級磷酸用途分析
          1、用于基片涂膠前的清洗
          2、用于光刻過程中的蝕刻及后去膠;
          3、用于硅片本身制作過程中的清洗及絕緣膜蝕刻、半導(dǎo)體膜蝕刻、 導(dǎo)體膜蝕刻、 有機材料蝕刻等
          二、電子級磷酸制備工藝
          1、用高純磷制備電子級磷酸的工藝
          2、用高純?nèi)然字苽潆娮蛹壛姿岬墓に?br /> 3、用三氯氧磷制備電子級磷酸的工藝

          三、電子級磷酸提純工藝
          化學(xué)沉淀法
          有機溶劑萃取法
          溶劑沉淀法
          結(jié)晶法(冷凍結(jié)晶法、熔融結(jié)晶法)
          濃縮凈化法
          離子交換法
          電滲析法

          四、電子級磷酸質(zhì)量等級
          E1為普通電子級磷酸
          E2為高純電子級磷酸

          五、電子級磷酸檢測標(biāo)準(zhǔn)
          GB/T 28159-2011 電子級磷酸

          六、電子級磷酸檢測項目
          1、磷酸質(zhì)量分?jǐn)?shù)檢測
          2、易氧化物質(zhì)量分?jǐn)?shù)檢測
          3、陰離子檢測項目:硝酸鹽含量、硫酸鹽含量、氯化物含量
          4、金屬離子元素檢測項目:鋁、硼、銻、砷、鋇、鎘、鈣、鈷、銅、鎵、金、鐵、鉛、鋰、鎂、錳、家、鎳、銀、鈉、錫、鍶、鈦、鋅
          5、顆粒的測定
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